Приобретите термальный массовый расходомер-регулятор Brooks Instrument GF125CXXC, откалиброванный на 860 SCCM азота (N2). Этот МРР серии GF оснащен интерфейсом DeviceNet, временем отклика 300 мс и нормально закрытым клапаном для точного управления потоком газа.